Бюро научно-технической информации

Наука и жизньНаука

БНТИ

Бюро научно-технической информации

Ведущий инженер-технолог ИФП СО РАН Тимур Малин за работой на установке молекулярно-лучевой эпитаксии. Фото: ИФП СО РАН.

Чистота и порядок в кристалле для радиолокаторов

Устройства радиолокационных систем, работающие на сверхвысоких частотах, должны иметь небольшие размеры и вес, стабильно выдавать заданный уровень выходной мощности и не терять свои характеристики при повышенных температурах. Основной элемент СВЧ-устройств — транзистор с высокой подвижностью электронов. В последнее время для изготовления таких транзисторов используют кристаллы нитрида галлия (GaN). Применение этого полупроводникового соединения даёт возможность увеличивать мощность СВЧ-устройств при одновременном уменьшении числа транзисторов в каскадах, а значит, и габаритов изделия. Одновременно приборы стабильно работают при повышенных температурах и в условиях радиационного фона.

Однако при создании подобных транзисторов приходится сталкиваться с технологической проблемой, влияющей на их мощность: в ходе синтеза кристаллов нитрида галлия в его структуру встраивается кислород, что приводит к деградации электрофизических свойств материала. Дело в том, что нитрид-галлиевые транзисторы создаются на основе гетероструктур, содержащих несколько слоёв. Один из них (буферный) должен иметь высокое сопротивление. Однако внедрившиеся в его кристаллическую структуру атомы кислорода привносят электроны — носители заряда, из-за чего появляются токи утечки и уменьшается мощность транзистора.

Сотрудники Института физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН (ИФП СО РАН) взялись за решение этой задачи.

Полупроводниковые гетероструктуры выращиваются методом молекулярно-лучевой эпитаксии: в условиях сверхвысокого вакуума на поверхность подложки подаются пары металла и газ — аммиак. В ходе химической реакции на поверхности растёт полупроводниковая плёнка, наследуя кристаллическую структуру подложки. В данном процессе важно соблюдать максимальную чистоту, поскольку даже один примесный атом на миллион может кардинально поменять свойства полупроводника. Несмотря на тщательную фильтрацию реакционной среды и откачку, в сверхвысоковакуумных камерах, где выращивают полупроводниковые кристаллы, присутствует остаточный атмосферный кислород, который и внедряется в полупроводник. Традиционно, чтобы избежать этого явления, дополнительно вводят в растущую структуру углерод или железо или намеренно создают дефекты в начальных слоях GaN для захвата «лишних» электронов. Однако оба эти способа могут приводить к ухудшению характеристик проводящего элемента транзистора, также влекущему за собой снижение мощности прибора. В ИФП СО РАН нашли иной вариант решения проблемы, не добавляя примеси и сохраняя структурное совершенство слоя нитрида галлия. Для этого физики подобрали определённые условия роста кристаллического GaN. Оптимальные параметры роста буферного слоя, обладающего высоким электросопротивлением, они рассчитали с помощью специального математического алгоритма. При выращивании в этом случае используются более низкие температуры (800

Авторизуйтесь, чтобы продолжить чтение. Это быстро и бесплатно.

Регистрируясь, я принимаю условия использования

Рекомендуемые статьи

Мяу по-русски Мяу по-русски

Налаживая связь с человеком, кошки изменили тональность мяуканья

Популярная механика
Крупным планом: что происходит с отечественным кинорынком Крупным планом: что происходит с отечественным кинорынком

Какое кино сейчас интересно зрителям в России?

Inc.
Хищные скорпионницы мелового периода Хищные скорпионницы мелового периода

Результаты новой экспедиции на Хасуртый для сбора ископаемых насекомых

Наука и жизнь
«Ревность о Севере: Прожектерское предпринимательство и изобретение Северного морского пути в Российской империи» «Ревность о Севере: Прожектерское предпринимательство и изобретение Северного морского пути в Российской империи»

Почему предпринимателей интересовала печорская древесина

N+1
Микробы от похмелья Микробы от похмелья

Бактерии, которые способны утилизировать алкогольный токсин в кишечнике

Популярная механика
Позитивные вибрации: плюсы и минусы дизельной модификации пикапа JAC T9 Позитивные вибрации: плюсы и минусы дизельной модификации пикапа JAC T9

JAC T9: настоящие внедорожники еще выпускают

ТехИнсайдер
Электрическая ракета, которая изменит войну Электрическая ракета, которая изменит войну

Барражирующие боеприпасы «Ланцет», которые могут в корне изменить войны будущего

Популярная механика
Чьим голосом вы говорите с собой? Чьим голосом вы говорите с собой?

Тест: как часто вы точно понимаете, чего на самом деле хотите

Psychologies
Советский модернизм Советский модернизм

Вспоминая архитектурную «перестройку»

Наука и жизнь
Как запустить посудомоечную машину первый раз — инструкция и советы Как запустить посудомоечную машину первый раз — инструкция и советы

Как правильно запускать посудомоечную машину первый раз?

CHIP
Куда плывёт плаун? Куда плывёт плаун?

Как растения образуют «ведьмин круг»?

Наука и жизнь
Ксения Хаирова Ксения Хаирова

О Валентине Талызиной, актрисе поистине уникальной

Караван историй
На задворках двух империй На задворках двух империй

Как Пушкин и древнеримский поэт Овидий оказались практически в одном месте

Наука и жизнь
Цветовые ошибки: как один оттенок способен испортить весь интерьер Цветовые ошибки: как один оттенок способен испортить весь интерьер

Какие ошибки в выборе цвета стен способны испортить весь интерьер?

VOICE
Вселенная известная и неизвестная Вселенная известная и неизвестная

Некоторые вопросы об устройстве Вселенной уже имеют ответы

Наука и жизнь
Жизнь без гаджетов Жизнь без гаджетов

Как прекратить сидеть в телефоне: 9 шагов к цифровой свободе

Лиза
Философский камень, или немного sapientia ex cupro Философский камень, или немного sapientia ex cupro

Идеи вечной жизни, молодости и излечения от всех болезней не умерли

Наука и жизнь
Нехимические зависимости: что это такое, как их распознать и победить Нехимические зависимости: что это такое, как их распознать и победить

Вы просыпаетесь и сразу тянетесь к телефону?

Maxim
Сколько можно спать? Сколько можно спать?

Еще несколько сотен лет назад европейцы спали дважды за сутки

Популярная механика
Одежда и надежды Одежда и надежды

Красивые книги о моде

Weekend
Техпарад Техпарад

Новости мира науки и техники

Популярная механика
Пушки или масло Пушки или масло

Как технологии двойного назначения помогли послевоенной конверсии

Эксперт
Дроны в погоне за картой Дроны в погоне за картой

Человечество до сих пор не составило полную карту своей собственной планеты

Популярная механика
От «коробочек» — к нелинейной архитектуре От «коробочек» — к нелинейной архитектуре

Как может выглядеть архитектура XXI века?

Монокль
Икра с огнем Икра с огнем

Где она, там праздник — если, конечно, вы не ошиблись в выборе баночки

Добрые советы
Гений, садовник и киноман: 10 эпизодов из биографии Кодзимы Гений, садовник и киноман: 10 эпизодов из биографии Кодзимы

Что вы знаете о Хидео Кодзиме?

Правила жизни
Красота функции Красота функции

Интерьер функционального дома для двух взрослых и двух детей

SALON-Interior
Особое мнение от народа Особое мнение от народа

Почти 40% россиян считают себя «особым народом»

Ведомости
Настоящий папа Настоящий папа

Как установить и зарегистрировать отцовство: инструкция и сложные случаи

Лиза
Тренд на тихий бренд Тренд на тихий бренд

Low profile publicity: почему крупный бизнес выбирает стратегию скромности?

Ведомости
Открыть в приложении